SVZK-300型多功能真空實驗儀是一個真空實驗平臺,適合于對學生開展真空實驗教學。可進行真空蒸鍍、磁控濺射,它也可以在高純
氬氣的保護之下進行多種離子處理。用本設備處理的試樣既可用于樣品的外貌觀察又可以進行成分分析。傳統的真空實驗儀器大都由金屬部
件組成,很多主要的實驗過程不直觀,學生只能通過儀表了解物理過程。本設備真空室部分采用高強度玻璃制造,儀器結構緊湊合理,操作
簡單,物理過程直觀,容易引起學生的興趣,利于提高學生的實驗能力和理論聯系實際的能力。
可開設的實驗:
1、真空的獲得與測量;2、蒸發法薄膜制備 3、直流磁控濺射鍍膜
設備的組成:
SVZK-300型多功能真空實驗儀由電氣控制系統與真空系統組成,其中電氣控制系統包括控制電路、真空測量儀與測量儀表;真空系統
包括玻璃真空室、真空管路、真空機組(直聯機械旋片泵和分子泵構成二級真空系統)、真空測量。