CSC系列半導體材料電學測量系統

CSC系列半導體材料電學測量系統

       CSC系列半導體材料電學測量系統是基于Partulab CPS系列低溫真空探針臺和Keithley 4200-CSC半導體參數分析集成設計而成，是一款常溫或高低溫條件下測量有機半導體器件、納米器件及薄膜材料電學性能測量的綜合性測量系統。該系統可以實現-160℃-400℃、空氣和真空條件下的半導體器件和材料電壓-電流（I-V）測量、超快脈沖電壓-電流（I-V）測量、電容-電壓（CV）測量、DLCP測量、電阻（RT）和電阻率（ρT）測量、Hall電壓測量等，廣泛就用于高校、科研、航空航天、軍工院所等領域，是目前科研教學表征和測量半導體器件和薄膜材料的較佳綜合測量系統。

測試原理：

      CSC系列半導體材料電學測量系統主要由Partulab CPS-7000低溫真空探針臺、Keithley 4200-CSC半導體參數分析儀和LVRMeaskit直流低溫電阻測量套件組成。系統配備Lakeshore336溫控儀可以與Keithley 4200-CSC和keysight B1500A半導體參數分析儀無縫連接，直接可以在半導體參數分析儀實現器件和材料的變溫電學測量，無需客戶再編寫應用程序，大大節約器件和材料研發時間。

      樣品溫度準確性和溫度穩定性是整個低溫系統的關鍵，系統配置3個低溫傳感器，一個在樣品臺上，一個在屏蔽罩上，一個在探針臂上，通過監測三個地方的溫度，確保可以提供一個準確地控溫環境。為了避免探針臂的溫度傳送到樣品上，導致樣品溫度高于樣品臺溫度，探針臂和探針必須做熱沉處理。

Partulab CPS系列低溫真空探針臺

配置：

CPS-7000低溫真空探針臺（二選一）

--4軸或6軸液氮/液氦開環低溫探針臺

--Lakeshore 336溫控儀及傳感器

CPS-8000低溫真空探針臺（二選一）

--4軸或6軸GM制冷機閉環低溫探針臺

-Lakeshore 336溫控儀及傳感器

PPS-90真空輔助系統

--包含分子泵機組、真空閥門、真空測量

VSZ70KIT 可視化視覺系統

--7:1變焦、彩色CCD、同軸環形光可調電源